AS-7B-L由測量部、避震臺、X-Y平臺、PC、控制單元、平臺控制器以及
表面觀察用光學顯微鏡、彩色顯示器、打印機等構成。
1．對應基板尺寸： Max 400*500mm，t0.5-1.1mm
2．測量模式： 接觸AFM、AC-AFM、LFM(FFM)
3．最大掃描范圍： XY=120*120μm，Z=9μm
4．分辨力： XY=2nm，Z=0.15nm
5．噪聲電平： <0.5nmRMS (在振動條件良好的設置環(huán)境下)
6．XY平臺： 分辨力1μm/step ; 精度 30μm/500mm
7．光學顯微鏡： 顯示倍率 120－900倍(9”顯示器)。
同軸落射照明：鹵素燈光源，光纖導入
8．激光規(guī)格： 波長 670nm，輸出功率 1mW以下(Class 2 JIS安全基準)
9．避震臺： 空氣彈簧方式3軸方向避震臺，具有自動水平功能
10．隔音蓋板： 電控氣缸進行測定部全面上部蓋板的開閉
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