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配備了帶有廣域照明與局部照明的大型電動(dòng)臺(tái)板，可讀取位置坐標(biāo)，并配有上料/下料機(jī)的自動(dòng)顯微鏡檢查系統(tǒng)
・使用相對(duì)于光學(xué)顯微鏡鏡筒下射斜光光源・更易于觀察立體的畫面・適合觀察表面異物、臺(tái)階形狀
產(chǎn)品性能: 被測(cè)物尺寸: Max X465mm * Y360mm t1.1mm 觀察范圍: Max X465mm * Y360mm (落射觀察時(shí)) Max X449mm * Y344mm (透過觀察時(shí)) 載物臺(tái)行程: X675mm*Y370mm 電動(dòng)坐標(biāo)重復(fù)性: ±10um 最小設(shè)定分辨力: 1um
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